二坐标微驱动器
专利申请的视为撤回
摘要
本发明的二坐标微驱动器，采用压电元件、圆弧缺口支点、无摩擦的一体化机构，适用于一般超高精度的二轴平面驱动，可用于微型机器人，IC及超导元件等一切精细加工工作台，特别适用作细胞处理工作台的直接处理，其技术指标可达：分辨率0.1μm，可控精度0.03μm，带宽400Hz以上。
基本信息
专利标题 ：
二坐标微驱动器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1076563A
申请号 ：
CN92114074.6
公开（公告）日 ：
1993-09-22
申请日 ：
1992-11-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
杨宜民
申请人 ：
广东工学院
申请人地址 ：
510000广东省广州市东风东路729号
代理机构 ：
广东省高等学校专利事务所
代理人 ：
何淑珍
优先权 ：
CN92114074.6
主分类号 ：
H02N2/00
IPC分类号 ：
H02N2/00
法律状态
1997-09-24 ：
专利申请的视为撤回
1993-09-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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