全息式焦点跟踪光触针测微仪
专利申请的视为撤回
摘要
本发明公开了一种全息式焦点跟踪光触针测微仪，它含有半导体激光器[1]、准直透镜[2]、物镜[6]、焦点跟踪驱动器[11]、驱动电路[16]、积分器[15]和显示器[18]。全息刀口元件[5]设置在准直透镜[2]和物镜[6]之间；激光器[1]的附近设置二个二象限光电接收器[8]和[9]。所述光电接收器[8]和[9]连接信号处理器[14]，非线性修正器[17]分别接积分器[15]和显示器[18]。本发明结构简单，成本较低，测量范围大，分辨率和精度高，可广泛应用于非接触测微。
基本信息
专利标题 ：
全息式焦点跟踪光触针测微仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1090037A
申请号 ：
CN93100146.3
公开（公告）日 ：
1994-07-27
申请日 ：
1993-01-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
庄葆华张吉华吕克谦李真
申请人 ：
天津大学
申请人地址 ：
300072天津市七里台
代理机构 ：
天津大学专利代理事务所
代理人 ：
江镇华
优先权 ：
CN93100146.3
主分类号 ：
G01B11/02
IPC分类号 ：
G01B11/02 G01B9/00
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
1998-05-20 ：
专利申请的视为撤回
1996-05-08 ：
实质审查请求的生效
1994-07-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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