氢气流中净化磷化氢，砷化氢的浸渍活性炭
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明涉及一种氢气流中净化PH3、AsH3的浸渍活性炭，它以煤质颗粒活性炭为载体，浸渍Cu、Hg、Cr、Ag，四种组分，该种浸渍活性炭能有效地净化PH3、AsH3等污染物，可用于净化新型半导体材料金属有机物气相外延技术的工艺尾气及其它领域的氢气、空气气氛中PH3、AsH3等污染物。
基本信息
专利标题 ：
氢气流中净化磷化氢，砷化氢的浸渍活性炭
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1076173A
申请号 ：
CN93101650.9
公开（公告）日 ：
1993-09-15
申请日 ：
1993-02-20
授权号 ：
CN1032963C
授权日 ：
1996-10-09
发明人 ：
郭坤敏袁存乔马兰谢自力
申请人 ：
中国人民解放军防化研究院
申请人地址 ：
100083北京市花园北路35号西楼
代理机构 ：
北京市专利事务所
代理人 ：
程凤儒
优先权 ：
CN93101650.9
主分类号 ：
C01B31/08
IPC分类号 ：
C01B31/08
法律状态
1998-04-15 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1996-10-09 ：
授权
1993-09-15 ：
公开
1993-09-08 ：
实质审查请求的生效
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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