测量层厚的方法和实施此方法的装置
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要

用于测量位于移动表面上的糊状或黏稠性研磨物料层厚的方法,在物料层上置放有一个可移动支承的测量滚轮,在带有物料层的平面移动期间,测量滚轮横向于平面运动方向的偏转由一个生成输出信号的传感器测定,该输出信号的一个参数与测量滚轮偏转的大小并与层厚成函数关系。为保持测量精度和避免测量料层缠卷到测量滚轮上,对测量滚轮施加一限定的制动力。

基本信息
专利标题 :
测量层厚的方法和实施此方法的装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1087989A
申请号 :
CN93119791.0
公开(公告)日 :
1994-06-15
申请日 :
1993-10-30
授权号 :
CN1049490C
授权日 :
2000-02-16
发明人 :
H·格伦明格N·舍伦堡格
申请人 :
布勒公司
申请人地址 :
瑞士乌兹威尔
代理机构 :
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 :
付康
优先权 :
CN93119791.0
主分类号 :
G01B5/06
IPC分类号 :
G01B5/06  G01B21/08  B02C4/36  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B5/00
以采用机械方法为特征的计量设备
G01B5/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B5/06
用于计量厚度
法律状态
2004-12-29 :
专利权的终止未缴年费专利权终止
2000-02-16 :
授权
1995-08-23 :
实质审查请求的生效
1994-06-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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