镀有金色渐变交替层的部件及其制备方法
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明涉及一种镀有金色渐变交替层的部件及其制备方法，该方法是在圆形真空室的外壁，沿圆周分布四组阴极电弧源和磁控溅射源，其中三组为Ti或Ti合金，另一组为Au或Au合金。镀件在真空室内沿圆周公转的同时自转，公转与自转的比例为1∶2～3。镀膜过程中首先开启Ti源。并向真空室内通入N2气，当TiN层达到要求厚度后，同时开启Ti源和Au源，镀制渐变交替层。部件由基体和镀层组成，镀层由TiN层、渐变交替层和Au层组成。
基本信息
专利标题 ：
镀有金色渐变交替层的部件及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1089665A
申请号 ：
CN93120347.3
公开（公告）日 ：
1994-07-20
申请日 ：
1993-12-04
授权号 ：
CN1032702C
授权日 ：
1996-09-04
发明人 ：
王殿儒
申请人 ：
北京长城钛金技术联合开发公司
申请人地址 ：
100080北京市海淀区海淀路74号乙
代理机构 ：
清华大学专利事务所
代理人 ：
罗文群
优先权 ：
CN93120347.3
主分类号 ：
C23C14/14
IPC分类号 ：
C23C14/14 C23C14/34 B32B15/01
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
C23C14/14
金属材料、硼或硅
法律状态
2003-01-22 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1996-09-04 ：
授权
1994-07-20 ：
公开
1994-07-06 ：
实质审查请求的生效
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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