高速电路芯片电光采样分析仪
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
高速电路芯片电光采样分析仪可用于Ⅲ－Ⅴ族化合物半导体为衬底的平面型高速器件和集成电路芯片内部各点上的动态特性的在片检测。一种内照明摄像体视显微镜被用于微波探针测量操作和采样光点的观察，通过微波探针台的微调位移实现高速电路芯片在高速运转状态下相对于采样光点的位置调节，利用电光采样光学组件提高光学系统的稳定性，利用大型工具显微镜的机架和工作台完成高速电路芯片电光采样分析仪各部件的组装。
基本信息
专利标题 ：
高速电路芯片电光采样分析仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1093831A
申请号 ：
CN94103062.8
公开（公告）日 ：
1994-10-19
申请日 ：
1994-02-28
授权号 ：
CN1038784C
授权日 ：
1998-06-17
发明人 ：
衣茂斌孙伟田晓建
申请人 ：
吉林大学
申请人地址 ：
130023吉林省长春市解放大路83号
代理机构 ：
吉林大学专利事务所
代理人 ：
张博然
优先权 ：
CN94103062.8
主分类号 ：
G01R31/26
IPC分类号 ：
G01R31/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/26
•单个半导体器件的测试
法律状态
2000-04-26 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1998-06-17 ：
授权
1994-10-19 ：
公开
1994-10-05 ：
实质审查请求的生效
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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