电子电路
专利权的终止
摘要

一种在绝缘基片上形成的电子电路,它具有由半导体层构成的薄膜晶体管(TFTS)。半导体层的厚度小于1500,例如在100-750之间。在半导体层上形成主要由钛和氨构成的第一层。在所说的第一层上面形成由铝构成的第二层。将此第一和第二层按一定图形刻蚀成导电互连线。此第二层的下表面实质上完全与第一层紧密接触。互连线与该半导体层有良好的接触。

基本信息
专利标题 :
电子电路
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1516281A
申请号 :
CN03104195.7
公开(公告)日 :
2004-07-28
申请日 :
1993-12-09
授权号 :
CN1293641C
授权日 :
2007-01-03
发明人 :
宫崎稔A·村上崔葆春山本睦夫
申请人 :
株式会社半导体能源研究所
申请人地址 :
日本神奈川县厚木市
代理机构 :
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 :
张志醒
优先权 :
CN03104195.7
主分类号 :
H01L27/12
IPC分类号 :
H01L27/12  H01L29/786  H01L21/28  H01L21/3205  
法律状态
2014-02-05 :
专利权的终止
专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101567132186
IPC(主分类) : H01L 27/12
专利号 : ZL031041957
申请日 : 19931209
授权公告日 : 20070103
期满终止日期 : 20131209
2007-01-03 :
授权
2004-09-29 :
实质审查的生效
2004-07-28 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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