非导电探针检测铁电材料微区极性分布的方法

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

非导电探针检测铁电材料微区极化特性分布的方法，属于材料分析与表征技术领域。包括：准备；聚焦；调光；进针；形貌预扫描，根据形貌预扫描确定是否更换探针；确定检测电场的电压和频率；精确扫描；退针，数据处理和像输出等步骤。其实质是采用非导电探针，将通常施加在样品上的交流检测电场改为施加在样品下电极和探针悬臂之间，通过加大该电场来保证实际加在样品上的有效电场；并基于同样的逆压电效应，利用扫描力显微镜现有的数据探测、数据分析和处理手段来检测压电材料的微区极性分布情况。本发明由于采用的是成本更低的非导电探针，可以节约检测成本；并与通常的测试平台相兼容，操作简单方便。

基本信息

专利标题：

非导电探针检测铁电材料微区极性分布的方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1766661A

申请号：

CN200510021780.9

公开（公告）日：

2006-05-03

申请日：

2005-09-30

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

黄惠东王志红李言荣杨传仁沈博侃

申请人：

电子科技大学

申请人地址：

610054四川省成都市建设北路二段四号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN200510021780.9

主分类号：

G01R29/00

IPC分类号：

G01R29/00 G01R29/24 G01R31/00