一种制备光敏凝胶薄膜以实现光栅图形转移的方法
专利权的终止
摘要
本发明属溶胶—凝胶法制备ZrO2光敏凝胶薄膜及光栅图形的转移方法。采用溶胶—凝胶法，以锆酸丁酯为前驱体、无水乙醇或丙酮为有机溶剂，并加入苯甲酰丙酮，与Zr形成光敏鳌合物溶胶。再以石英、单晶硅或K9玻璃等为基底，制得光敏凝胶薄膜。采用掩膜结合紫外曝光、显影及后续热处理可在薄膜表面引入光栅图形。本发明具有工艺流程少，制作成本低廉，可调节性强等优点。也可以很方便地实现大面积光栅图形的转移。另外，溶胶凝胶法制作出的衍射光栅具有较高的激光损伤阈值，可应用于精密的光谱分光元件、光存储技术、平面显示器以及航空航天遥感成像光谱仪等方面。
基本信息
专利标题 ：
一种制备光敏凝胶薄膜以实现光栅图形转移的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1952776A
申请号 ：
CN200510031064.9
公开（公告）日 ：
2007-04-25
申请日 ：
2005-10-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
周斌徐翔徐纪平陆卫昌刘春泽徐超张志华
申请人 ：
同济大学
申请人地址 ：
200092上海市四平路1239号
代理机构 ：
上海智信专利代理有限公司
代理人 ：
吴林松
优先权 ：
CN200510031064.9
主分类号 ：
G03F7/00
IPC分类号 ：
G03F7/00 G03F7/004 G03F7/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
法律状态
2017-12-08 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G03F 7/00
申请日 : 20051021
授权公告日 : 20091230
终止日期 : 20161021
申请日 : 20051021
授权公告日 : 20091230
终止日期 : 20161021
2009-12-30 ：
授权
2007-06-13 ：
实质审查的生效
2007-04-25 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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