一种实现脉冲电源与等离子体负载间匹配的方法
专利权的终止
摘要
本发明属于电气工程技术领域，尤其涉及一种实现脉冲电源与等离子体负载间匹配的方法。本发明公开了一种运用电路理论、测量技术和仿真技术来设计脉冲电源与等离子体负载间匹配电路的方法。其特征是根据实验测得的脉冲电压下等离子体负载上的电压、电流波形和直流电压下等离子体负载上的电压与电流的关系，运用仿真技术来获得等离子体负载的等效参数，改变匹配电路的电路结构及其仿真参数，使等离子体负载上的脉冲电压(u2)与脉冲电源输出的脉冲电压(u1)之比(u2/u1)的频响特性，在脉冲电源输出的脉冲电压的有效频谱范围内，接近不失真系统的频响特性，由此来确定匹配电路的电路结构及其参数。本发明明显提高匹配电路的设计效率，节约成本。
基本信息
专利标题 ：
一种实现脉冲电源与等离子体负载间匹配的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1780522A
申请号 ：
CN200510047271.3
公开（公告）日 ：
2006-05-31
申请日 ：
2005-09-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
戚栋王宁会吴彦
申请人 ：
大连理工大学
申请人地址 ：
116024辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
代理机构 ：
大连理工大学专利中心
代理人 ：
侯明远
优先权 ：
CN200510047271.3
主分类号 ：
H05H1/00
IPC分类号 ：
H05H1/00 H03H7/38
法律状态
2012-11-21 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101350724657
IPC(主分类) : H05H 1/00
专利号 : ZL2005100472713
申请日 : 20050921
授权公告日 : 20080813
终止日期 : 20110921
号牌文件序号 : 101350724657
IPC(主分类) : H05H 1/00
专利号 : ZL2005100472713
申请日 : 20050921
授权公告日 : 20080813
终止日期 : 20110921
2008-08-13 ：
授权
2006-07-26 ：
实质审查的生效
2006-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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