本发明涉及一种静电简支梁式干涉光调制器，主要由衬底、控制电路、下电极层、简支梁、可动反射镜以及固定玻璃平板构成。在衬底上形成有下电极层和控制电路，下电极层与控制电路各单元电极控制端接触；在下电极层上淀积绝缘层，绝缘层之上形成有简支梁及支撑锚，支撑锚上支撑可动反射镜阵列，可动反射镜阵列与下电极层构成间距可变的平行平板电容器，可动反射镜阵列上方覆盖有固定玻璃平板，固定玻璃平板与可动反射镜之间留有一定的间距。简支梁采用类机翼形状，可减少地形效应，增加可动反射镜表面平整度。本调制器通过可动反射镜在静电力的作用下发生上下垂直运动对入射光的相位调制，实现光的开关态。本光栅光调制器具有响应速度快、面阵结构、结构简单，器件加工工艺简单等优点。