本发明涉及一种用于制备电子元件的电子级试剂——四乙基四氟硼酸铵的制备方法，首先用重结晶过程，得到精制的硼酸，然后氢氟酸和硼酸按摩尔比1∶1用量制备氟硼酸，四乙基卤化铵盐与氟硼酸于10～50℃和醇类有机溶剂存在下进行交换反应，于30～90℃、减压脱卤化氢后得到产物，经重结晶和低温减压干燥，最终得到高纯合格的四乙基四氟硼酸铵，最终产物的质量达到要求为：纯度：≥99.5％；水含量≤10ppm；Fe≤1.0ppm；Si≤3.0ppm；Na≤3.0ppm；K≤3.0ppm。