极紫外激光等离子体光源碎片隔离器
专利权的终止
摘要
一种极紫外(EUV)激光等离子体光源碎片隔离器,其特征在于它是一个高速旋转的圆柱体转轮[1],侧面开有贯穿圆柱体中心的等截面矩形通道[2],圆柱体转轮[1]安装在靶[3]与光学系统[4]之间,三者处于同一中心水平线上。圆柱体转轮[1]的转轴为垂直方向,并与上述三者中心水平线垂直相交。本发明隔离器工作的初始状态选择在通道[2]中心轴线和中心水平线的夹角等于θA的位置。本发明可解决EUV激光等离子体光源在激射靶体时产生的碎片对光学系统的污染问题,对EUV激光等离子体光源在高精度无缺陷多层膜制备、EUV活体生物显微镜、EUV高精度干涉计量和EUV光刻中的应用,具有非常重要的意义。
基本信息
专利标题 :
极紫外激光等离子体光源碎片隔离器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1959463A
申请号 :
CN200510086792.X
公开(公告)日 :
2007-05-09
申请日 :
2005-11-04
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
李艳秋
申请人 :
中国科学院电工研究所
申请人地址 :
100080北京市海淀区中关村北二条6号
代理机构 :
北京科迪生专利代理有限责任公司
代理人 :
关玲
优先权 :
CN200510086792.X
主分类号 :
G02B26/08
IPC分类号 :
G02B26/08 G02F1/09
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置,例如,开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
法律状态
2011-01-19 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101031689101
IPC(主分类) : G02B 26/00
专利号 : ZL200510086792X
申请日 : 20051104
授权公告日 : 20090610
终止日期 : 20091204
号牌文件序号 : 101031689101
IPC(主分类) : G02B 26/00
专利号 : ZL200510086792X
申请日 : 20051104
授权公告日 : 20090610
终止日期 : 20091204
2009-06-10 :
授权
2008-05-07 :
实质审查的生效
2007-05-09 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载