极紫外激光等离子体光源碎片隔离器

专利权的终止

摘要

一种极紫外(EUV)激光等离子体光源碎片隔离器，其特征在于它是一个高速旋转的圆柱体转轮[1]，侧面开有贯穿圆柱体中心的等截面矩形通道[2]，圆柱体转轮[1]安装在靶[3]与光学系统[4]之间，三者处于同一中心水平线上。圆柱体转轮[1]的转轴为垂直方向，并与上述三者中心水平线垂直相交。本发明隔离器工作的初始状态选择在通道[2]中心轴线和中心水平线的夹角等于θ_A的位置。本发明可解决EUV激光等离子体光源在激射靶体时产生的碎片对光学系统的污染问题，对EUV激光等离子体光源在高精度无缺陷多层膜制备、EUV活体生物显微镜、EUV高精度干涉计量和EUV光刻中的应用，具有非常重要的意义。

基本信息

专利标题：

极紫外激光等离子体光源碎片隔离器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1959463A

申请号：

CN200510086792.X

公开（公告）日：

2007-05-09

申请日：

2005-11-04

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

李艳秋

申请人：

中国科学院电工研究所

申请人地址：

100080北京市海淀区中关村北二条6号

代理机构：

北京科迪生专利代理有限责任公司

代理人：

关玲

优先权：

CN200510086792.X

主分类号：

G02B26/08

IPC分类号：

G02B26/08 G02F1/09

IPC结构图谱

G部——物理

G02

光学

G02B

光学元件、系统或仪器附注

G02B26/00

利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制

G02B26/08

控制光的方向

法律状态

2011-01-19 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101031689101
IPC(主分类) : G02B 26/00
专利号 : ZL200510086792X
申请日 : 20051104
授权公告日 : 20090610
终止日期 : 20091204

2009-06-10 ：

授权

2008-05-07 ：

实质审查的生效

2007-05-09 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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