本发明涉及纳米材料制备技术，适用于多种金属、非金属及其氧化物、碳化物、氮化物、复合材料和超硬、难溶材料的纳米粉体制备。其先调节好干涉光路，再将固体靶材置于样品池的底部，并向样品池中缓慢地注入保护溶液直至高于靶面2～8mm，液体和固体靶材均处于室温，开启激光器，使激光经分束镜分成多束光并聚焦后共同作用于固体靶材表面，在此过程中，每隔10～15分缓慢地移动样品池，使激光作用于靶面各处发生干涉耦合。待作用时间达数十分钟后，将溶液中的粉末干燥后收集起来即得到纳米粉体。本发明具有设备简单、制备环境要求低、适用范围广，产物粒径小且粒度分布均匀，操作简便，产物尺寸易于控制等优点。