钛合金基体上生物陶瓷复合中间涂层的制备方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
钛合金基体上生物陶瓷复合中间涂层的制备方法，首先将钛合金样品固定在溅射室内，以纯钛金属板为靶材，将溅射室抽真空并通入Ar气再抽真空；然后向溅射室内通入O2和Ar，在溅射功率为600W下反应1.5～2.5小时；其次更换靶材为氧化铝陶瓷板，再将溅射室抽真空后通入Ar气再抽真空，使溅射室保持0.06Pa的Ar气气氛；然后以Ar气作为溅射气体，在溅射功率为800W，溅射压力为1.33Pa，溅射2～3小时。本发明采用等离子反应溅射技术，通过调节Ar气和氧气的分压比实现反应溅射，在钛合金基体上制备Ti→TiOx→TiO2钛氧化物梯度涂层，再采用等离子溅射沉积技术，以氧化铝陶瓷板为靶材，以Ar气作为溅射介质，在钛氧化物梯度涂层上制备氧化铝涂层，从而形成完整的生物陶瓷复合中间层。
基本信息
专利标题 ：
钛合金基体上生物陶瓷复合中间涂层的制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1776004A
申请号 ：
CN200510096422.4
公开（公告）日 ：
2006-05-24
申请日 ：
2005-11-25
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张超武武广富王芬王菊如
申请人 ：
陕西科技大学
申请人地址 ：
712081陕西省咸阳市人民西路49号
代理机构 ：
西安通大专利代理有限责任公司
代理人 ：
徐文权
优先权 ：
CN200510096422.4
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34 C23C14/08 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2008-07-23 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2006-07-19 ：
实质审查的生效
2006-05-24 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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