一种模仁保护膜的去除装置及方法
发明专利申请公布后的驳回
摘要
本发明涉及一种模仁保护膜的去除装置，其包括一腔体，一承载台，一氧等离子体产生装置，及一抽真空装置。本发明还涉及一种模仁保护膜的去除方法，其使用氧等离子体依次轰击待处理工件表面的类金刚石碳层与中间层，使各膜层结构发生变化丧失附着力而从工件上剥离。该方法可以将不合格、损坏或不良的模仁保护膜从基底上快速有效去除，同时又不损坏基底以利再次重新在基底上形成保护膜。
基本信息
专利标题 ：
一种模仁保护膜的去除装置及方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1978351A
申请号 ：
CN200510102018.3
公开（公告）日 ：
2007-06-13
申请日 ：
2005-12-02
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
萧博元张庆州
申请人 ：
鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请人地址 ：
518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN200510102018.3
主分类号 ：
C03B11/00
IPC分类号 ：
C03B11/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C03
玻璃；矿棉或渣棉
C03B
玻璃、矿物或渣棉的制造、成型；玻璃、矿物或渣棉的制造或成型的辅助工艺
C03B11/00
玻璃的压制
法律状态
2011-09-14 ：
发明专利申请公布后的驳回
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101183792785
IPC(主分类) : C03B 11/00
专利申请号 : 2005101020183
公开日 : 20070613
号牌文件序号 : 101183792785
IPC(主分类) : C03B 11/00
专利申请号 : 2005101020183
公开日 : 20070613
2008-07-02 ：
实质审查的生效
2007-06-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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