加速度传感器

专利权的终止

摘要

本发明提供一种加速度传感器。该加速度传感器可以减小XYZ三轴的输出差，从而实现省电化。压电阻型三轴加速度传感器具有：外框部(11)，配置于该外框部(11)内的质量部(13)，柔性地支承该质量部(13)的梁部件(14－1a、14－1b、14－2a、14－2b)，形成于该梁部件(14－1a、14－1b、14－2a、14－2b)上的X、Y、Z轴用压电阻体(15－1a、15－1b～15－6a、15－6b)。使Z轴用压电阻体(15－5a、15－5b、15－6a、15－6b)的长度L2长于X轴用压电阻体(15－1a、15－1b、15－2a、15－2b)和Y轴用压电阻体(15－3a、15－3b、15－4a、15－4b)的长度L1，从而使灵敏度降低。

基本信息

专利标题：

加速度传感器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1793937A

申请号：

CN200510107131.0

公开（公告）日：

2006-06-28

申请日：

2005-09-28

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

森浩也

申请人：

冲电气工业株式会社

申请人地址：

日本东京

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

陈伟

优先权：

CN200510107131.0

主分类号：

G01P15/12

IPC分类号：

G01P15/12 G01P15/18 H01L29/84