半导体加速度传感器

专利权的终止

摘要

公开了一种半导体加速度传感器，其在X、Y和Z轴之中的加速度检测灵敏度上具有较小的差异，并且具有较高的检测灵敏度。该加速度传感器具有在其中心的块部分，围绕该块部分的支撑框架，以及连接该块部分和支撑框架的多个挠性臂。挠性臂在两端具有宽部，以及在该宽却之间的窄部。压电电阻限制地提供在该挠性臂的宽部的顶面区域内，并且在该块部分/支撑框架上布置连接金属线和压电电阻的通孔。该多个挠性臂相对于该块部分的中心是对称的，并且每个挠性臂相对于该挠性臂的中心线是对称的。

基本信息

专利标题：

半导体加速度传感器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1776434A

申请号：

CN200510131590.2

公开（公告）日：

2006-05-24

申请日：

2005-09-29

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

池田由夫细田雅之坂口勇夫斋藤正胜

申请人：

日立金属株式会社

申请人地址：

日本东京

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

康建忠

优先权：

CN200510131590.2

主分类号：

G01P15/12

IPC分类号：

G01P15/12 H01L29/84 G01L9/04