用于制造平板显示器的设备
专利权的终止
摘要
在此公开了一种平板显示器(FPD)制造设备，用于在室中建立真空气氛之后对定位在所述室中的基板执行所需的处理。所述真空室被分成室体以及上盖，以确保所述上盖的容易的开/闭操作。
基本信息
专利标题 ：
用于制造平板显示器的设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1790611A
申请号 ：
CN200510107980.6
公开（公告）日 ：
2006-06-21
申请日 ：
2005-09-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李荣钟崔浚泳曺生贤安贤焕孙石民安成一
申请人 ：
爱德牌工程有限公司
申请人地址 ：
韩国京畿道
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐谦
优先权 ：
CN200510107980.6
主分类号 ：
H01L21/00
IPC分类号 ：
H01L21/00 H01L21/20 H01L21/3065 H01L51/56 H05B33/10 C23C14/22 C23F4/00
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
法律状态
2019-09-17 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01L 21/00
申请日 : 20050930
授权公告日 : 20091014
终止日期 : 20180930
申请日 : 20050930
授权公告日 : 20091014
终止日期 : 20180930
2009-10-14 ：
授权
2006-08-16 ：
实质审查的生效
2006-06-21 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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2、
CN100550283C.PDF
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