清洗液组合物

专利权的终止

摘要

本发明公开了一种清洗液组合物，其包括如下组分：溶剂、缓冲剂、氟化物、腐蚀抑制剂和水，其特征在于该缓冲剂包括：弱酸、铵类和胺类。本发明的清洗液组合物可以降低使用温度，不会扩大通道的尺寸，消除不平坦的蚀刻，金属或金属氧化物不会有损失，消除器件的电解腐蚀，其还可以用于铜的大马士革制程清洗。

基本信息

专利标题：

清洗液组合物

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1966636A

申请号：

CN200510110360.8

公开（公告）日：

2007-05-23

申请日：

2005-11-15

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

张忠心尹建营

申请人：

安集微电子（上海）有限公司

申请人地址：

201203上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5楼613－618室

代理机构：

上海虹桥正瀚律师事务所

代理人：

李佳铭

优先权：

CN200510110360.8

主分类号：

C11D3/26

IPC分类号：

C11D3/26

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C11

动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡；由此制取的脂肪酸；洗涤剂；蜡烛

C11D

洗涤剂组合物；用单一物质作为洗涤剂；皂或制皂；树脂皂；甘油的回收

C11D3/00

包括在C11D1/00组内之洗涤组合物的其他配料成分

C11D3/16

有机化合物

C11D3/26

含氮的

法律状态

2017-01-04 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101695913713
IPC(主分类) : C11D 3/26
专利号 : ZL2005101103608
申请日 : 20051115
授权公告日 : 20110803
终止日期 : 20151115

2011-08-03 ：

授权

2009-02-04 ：

实质审查的生效

2007-05-23 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

文件下载

1、

CN1966636A.PDF

PDF下载

2、

CN1966636B.PDF

PDF下载