超高纯度惰性气体纯化装置及纯化方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
一种超高纯度惰性气体纯化装置及其纯化方法。所述超高纯度惰性气体纯化装置包括一个分别具有独立腔体的进气端和出气端的金属罐，二独立腔体的隔离板为孔隙尺寸在0.003到100微米间的多孔材料。所述进气端部腔体与出气端部腔体的体积比在1∶9到9∶1之间。在进气端部腔体中填充锰基催化剂材料，在出气端部腔体中填充选自铁，锆，钒，钛等合金吸气剂材料的一种或一种以上的材料。对所述气体纯化装置顺序进行加热激活、常温(0－50℃)下的惰性气体的催化剂纯化和吸气剂纯化，由此，使用简单、小型的气体纯化装置，即可去除惰性气体中的氧、氢、一氧化碳、二氧化碳、水等杂质至1ppb(体积比)或其以下。本发明的超高纯度气体纯化装置及其纯化方法使用时不必加热，使用寿命长。
基本信息
专利标题 ：
超高纯度惰性气体纯化装置及纯化方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1970133A
申请号 ：
CN200510110582.X
公开（公告）日 ：
2007-05-30
申请日 ：
2005-11-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
江晓松
申请人 ：
先普半导体技术（上海）有限公司
申请人地址 ：
201108上海市闵行区金都路4299号6号楼6221室
代理机构 ：
上海三和万国知识产权代理事务所
代理人 ：
刘立平
优先权 ：
CN200510110582.X
主分类号 ：
B01D53/00
IPC分类号 ：
B01D53/00 B01J8/02 C01B21/04 C01B23/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
法律状态
2009-07-22 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2007-05-30 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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