惰性气体保护的高纯全氟碳电子特气吸附纯化方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了惰性气体保护的高纯全氟碳电子特气吸附纯化方法，步骤为：(1)将高纯惰性气体与全氟碳电子特气粗品原料气按高纯惰性气体体积浓度为100％～0的比例，由高至低浓度混配，得到液态混配气；(2)将液态混配气进行吸附，净化气冷凝，得到液态全氟碳电子特气中间气，不凝高纯惰性气体循环；(3)当液态混配气中的高纯惰性气体体积占比为0时，将液态全氟碳电子特气中间气替代液态混配气切入吸附塔并通入冷凝器，循环吸附，得到高纯全氟碳电子特气产品气。本发明深度脱除全氟碳电子特气粗品原料气中的杂质，适用于连续化生产中高纯、超高纯电子级全氟碳电子特气的制备，装置简单，操作性好、适用范围广泛、操作弹性大、安全高效。
基本信息
专利标题 ：
惰性气体保护的高纯全氟碳电子特气吸附纯化方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114307517A
申请号 ：
CN202111672465.8
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-12-31
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
周言黄国强胡号钟强
申请人 ：
天津大学浙江绍兴研究院
申请人地址 ：
浙江省绍兴市杭州湾上虞经济开发区康阳大道15号
代理机构 ：
天津市北洋有限责任专利代理事务所
代理人 ：
陆艺
优先权 ：
CN202111672465.8
主分类号 ：
B01D53/00
IPC分类号 ：
B01D53/00 B01D53/04 C01B9/08 C07C17/389 C07C19/08 C07C21/20 C07C23/06
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B01D 53/00
申请日 : 20211231
申请日 : 20211231
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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