一种分离含氟电子特气的方法
公开
摘要
本发明涉及一种分离含氟电子特气的方法，所述方法包括使微孔碳材料与包括含氟电子特气的混合气接触，进行吸附分离。本发明所涉及的微孔碳材料结构和性能稳定，对六氟化硫以及四氟化碳具有较高的吸附量，同时对SF6/N2以及CF4/N2具有较高的吸附选择性，并且多次反复吸附‑再生后，吸附性能仍然保持原有效果。本发明的微孔碳材料应用在SF6/N2以及CF4/N2的吸附分离上的吸附性能远优于绝大多数固体吸附剂。
基本信息
专利标题 ：
一种分离含氟电子特气的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114288812A
申请号 ：
CN202111440997.9
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2021-11-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
鲍宗必陈富强黄鑫磊陈俐吭任其龙杨启炜张治国杨亦文
申请人 ：
浙江大学
申请人地址 ：
浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
代理机构 ：
北京中原华和知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
康志梅
优先权 ：
CN202111440997.9
主分类号 ：
B01D53/04
IPC分类号 ：
B01D53/04 B01D53/047 B01D53/08 B01J20/20 B01J20/30
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/02
通过吸附作用，例如，制备气相色谱法
B01D53/04
用固定的吸附剂
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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