一种精密定位和调整工装

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摘要

本发明公开了一种精密定位和调整工装，包括盖板(2)、垫片(5)、定位轴(6)，还包括平板(1)、圆环(3)和Rz调整装置(4)，圆环(3)由具有不同直径的阶梯状圆环组成并可通过其中一圆环的圆柱面及平面定位与平板(1)紧围安装在一起，Rz调整装置(4)安装在平板的槽面(104)中，定位轴(6)通过平板上销孔(101)定位及螺纹与盖板连接安装在平板上，盖板(2)通过螺纹连接安装在平板上，垫片(5)安装在定位轴(6)与平板(1)之间，盖板(2)、垫片(5)、定位轴(6)、和与它们连接最近的平板及圆环组成一套调节模块。有益作用是，保证了X、Y精度和Rz精度的定位精度。

基本信息

专利标题：

一种精密定位和调整工装

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1794091A

申请号：

CN200510112113.1

公开（公告）日：

2006-06-28

申请日：

2005-12-27

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

刘育张国韦袁志扬严天宏

申请人：

上海微电子装备有限公司

申请人地址：

201203上海市张江高科技园区张东路1525号

代理机构：

上海智信专利代理有限公司

代理人：

王洁

优先权：

CN200510112113.1

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20