使用一维纳米材料的微型气体传感器
专利权的终止
摘要

一种传感器技术领域的使用一维纳米材料的微型气体传感器。本发明包括:衬底、金属底电极层、一维纳米材料层、金属支柱层、金属顶电极层。其中,金属底电极层设置在衬底上,一维纳米材料层设置在金属底电极层之上,金属支柱层设置在衬底之上,顶电极设置在衬底上。金属底电极层、一维纳米材料层与金属支柱层之间相互隔离,顶电极层和底电极层、一维纳米材料层之间有气体间隙相互隔离。本发明具有选择性高、灵敏度高、低能耗、成本低、易于实现阵列化、小型化的优点,并有利于提高安全性、稳定性。

基本信息
专利标题 :
使用一维纳米材料的微型气体传感器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1793893A
申请号 :
CN200510112216.8
公开(公告)日 :
2006-06-28
申请日 :
2005-12-29
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
侯中宇蔡炳初张亚非徐东魏星
申请人 :
上海交通大学
申请人地址 :
200240上海市闵行区东川路800号
代理机构 :
上海交达专利事务所
代理人 :
王锡麟
优先权 :
CN200510112216.8
主分类号 :
G01N27/62
IPC分类号 :
G01N27/62  H01L49/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/62
通过测试气体的电离,例如气溶胶;通过测试放电,例如阴极发射
法律状态
2012-03-14 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101197729788
IPC(主分类) : G01N 27/62
专利号 : ZL2005101122168
申请日 : 20051229
授权公告日 : 20080813
终止日期 : 20101229
2008-08-13 :
授权
2006-08-23 :
实质审查的生效
2006-06-28 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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