压电/电致伸缩设备
专利权的终止
摘要
本发明提供一种能够有效防止薄壁隔板部的振动衰减，保持高位移(振幅)且响应性好、可进行高精度(高分辨率、灵敏性)检测的压电/电致伸缩设备。其具有框状的厚壁部(11)及薄壁隔板部(12)，通过由厚壁部(11)及薄壁隔板部(12)形成与外部连通的空腔(13)的陶瓷基体(1)；和具有包含下部电极(21)、压电/电致伸缩膜(22)及上部电极(23)的层结构的压电/电致伸缩器件(2)来构成，另外，使薄壁隔板部(12)外侧呈凸出的弧状，并且使所述压电/电致伸缩器件(2)在其内部残留有与和薄壁隔板部(12)的固定面平行的拉应力F。
基本信息
专利标题 ：
压电/电致伸缩设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1780009A
申请号 ：
CN200510116645.2
公开（公告）日 ：
2006-05-31
申请日 ：
2005-10-26
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
七泷努吉冈邦彦山口浩文
申请人 ：
日本碍子株式会社
申请人地址 ：
日本爱知
代理机构 ：
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 ：
郝庆芬
优先权 ：
CN200510116645.2
主分类号 ：
H01L41/09
IPC分类号 ：
H01L41/09 G01N11/16
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法律状态
2015-12-16 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101637680230
IPC(主分类) : H01L 41/09
专利号 : ZL2005101166452
申请日 : 20051026
授权公告日 : 20100505
终止日期 : 20141026
号牌文件序号 : 101637680230
IPC(主分类) : H01L 41/09
专利号 : ZL2005101166452
申请日 : 20051026
授权公告日 : 20100505
终止日期 : 20141026
2010-05-05 ：
授权
2006-07-26 ：
实质审查的生效
2006-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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2、
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