压电/电致伸缩器件

专利权的终止

摘要

提供一种压电/电致伸缩器件，可以有效防止薄壁膜片部的振动的衰减，维持高变位，同时应答性好且可进行高精度(高分辨率、高灵敏度)的检测，其具有：具有厚壁部11和薄壁膜片部12的陶瓷基体1；和具有包含下部电极21、压电/电致伸缩膜22和上部电极23的分层结构的压电/电致伸缩元件2；并构成为与压电/电致伸缩元件2的驱动联动，陶瓷基体1的薄壁膜片部12振动；另外，构成为满足下述(A)～(C)规定的形状和尺寸关系：(A)薄壁膜片部的形状，是朝外方凸出的拱形，且拱形的朝外方的突出量是5～50μm；(B)薄壁膜片部的架设宽度是600～2000μm；(C)所述厚壁部的高度对宽度之比(高度/宽度)是0.25～3。

基本信息

专利标题：

压电/电致伸缩器件

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1780010A

申请号：

CN200510116917.9

公开（公告）日：

2006-05-31

申请日：

2005-10-25

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

七泷努吉冈邦彦山口浩文

申请人：

日本碍子株式会社

申请人地址：

日本爱知

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司

代理人：

郝庆芬

优先权：

CN200510116917.9

主分类号：

H01L41/09

IPC分类号：

H01L41/09 G01N11/16