正交表面形貌图中任意截线方向形成截面轮廓的方法

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摘要

一种在正交表面形貌图中任意截线方向形成截面轮廓(line profile)的方法，包括：截线上，以方格的边长为单位，划分出多个待测点；在所述的截线的两侧，分别形成至少一平行于所述的截线的虚拟线；在所述的虚拟线上分别划分出多个虚拟区段，分别对应于所述的截线上所述的待测点；以及将所述的虚拟区段落在各所述的方格内的长度，乘上各所述的方格所对应的数值，并以所述的虚拟区段与所述的截线的距离加权后，估算所述的待测点的高度。本发明的有益效果在于，可以得到较为真实的轮廓，避免现有技术中，形成截面轮廓的数据点数与截线长度无法匹配的问题。

基本信息

专利标题：

正交表面形貌图中任意截线方向形成截面轮廓的方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1959335A

申请号：

CN200510117060.2

公开（公告）日：

2007-05-09

申请日：

2005-10-31

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

林耀明廖界程

申请人：

致茂电子股份有限公司

申请人地址：

台湾省桃园县

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司

代理人：

任默闻

优先权：

CN200510117060.2

主分类号：

G01B9/02

IPC分类号：

G01B9/02 G01B9/023