一种低温消毒灭菌方法及其装置，主要是针对受污染的物质器具及受污染的医疗器材进行消毒、杀菌及除污处理，处理方式包含以超声波、紫外线及臭氧结合水溶液中的消毒剂进行快速脱附、破坏、分解反应，可将遭受污染的各种医疗器材进行深层且完全的除污、消毒、灭菌处理，并确保污染物及细菌病毒均被完全清除消灭，以避免病患在后续医疗过程中因重复使用的医疗器材的消毒不彻底，而遭受细菌及病毒交互感染，造成生命财产的损失。本发明亦可适用于各种受污染物质、器具、材质、生鲜蔬果、食物等的清洁、除污、消毒、杀菌之用途。