对称布置的真空获得系统
专利权的终止
摘要
本发明公开了一种对称布置的真空获得系统,包括真空腔体,在所述真空腔体外侧相对于所述真空腔体水平截面的几何中心线对称设置有若干个真空泵接口。由于本发明真空泵设置于底法兰盘的边缘或真空腔体侧壁,因此真空泵的安装不影响电子枪及其它部件的安装和布置,而且真空泵接口的对称布置或周向均匀布置保证了真空腔体内流场的对称分布,这种对称流场使电子枪蒸发的气体粒子在其上方的基片表面上沉积更加均匀。
基本信息
专利标题 :
对称布置的真空获得系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1766320A
申请号 :
CN200510124041.2
公开(公告)日 :
2006-05-03
申请日 :
2005-11-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
刘宏立樊菁舒勇华
申请人 :
中国科学院力学研究所
申请人地址 :
100080北京市海淀区北四环西路15号
代理机构 :
北京中创阳光知识产权代理有限责任公司
代理人 :
尹振启
优先权 :
CN200510124041.2
主分类号 :
F04B37/14
IPC分类号 :
F04B37/14 C23C14/00
相关图片
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F04
液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵
F04B
液体变容式机械;泵
F04B
液体变容式机械;泵
F04B37/00
专门适用于弹性流体的并且其相关特征不包含在F04B 25/00至F04B 35/00组中或与上述各组无关的泵
F04B37/10
用于特殊用途
F04B37/14
获得高真空
法律状态
2017-01-11 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101697360723
IPC(主分类) : F04B 37/14
专利号 : ZL2005101240412
申请日 : 20051128
授权公告日 : 20080723
终止日期 : 20151128
号牌文件序号 : 101697360723
IPC(主分类) : F04B 37/14
专利号 : ZL2005101240412
申请日 : 20051128
授权公告日 : 20080723
终止日期 : 20151128
2008-07-23 :
授权
2006-06-28 :
实质审查的生效
2006-05-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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2、
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