真空泵及真空泵系统
公开
摘要
本发明提供能够不进行翻修地除去副反应产物的真空泵。本发明的真空泵具备用于使转子(28)旋转的马达(16)、温度能够上升的加热器(48)、保持加热器(48)的基座间隔件(42)、能够在通常动作模式和清洁动作模式之间进行动作模式的切换来控制加热器(48)的控制器、储存加热器(48)的设定温度的信息的储存部，储存部至少储存第1温度信息和第2温度信息，前述第1温度信息用于通常动作模式，具体地为泵能够无不良情况地使用的设定温度信息，前述第2温度信息用于清洁动作模式，具体地为能够将通常动作模式中产生的副反应产物再次气体化的设定温度信息，由第2温度信息表示的温度比由第1温度信息表示的温度高。
基本信息
专利标题 ：
真空泵及真空泵系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114270049A
申请号 ：
CN202080060462.6
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2020-09-07
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
市原孝一桦泽刚志
申请人 ：
埃地沃兹日本有限公司
申请人地址 ：
日本千叶县
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
张泽洲
优先权 ：
CN202080060462.6
主分类号 ：
F04D19/04
IPC分类号 ：
F04D19/04
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04D
非变容式泵
F04D
非变容式泵
F04D19/00
专门适用于弹性流体的轴流泵
F04D19/02
多级泵
F04D19/04
专门适用于产生高真空，例如分子泵
法律状态
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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