真空泵和真空泵的控制装置
授权
摘要
课题是提供一种即使在低速旋转的状态下也能够在不追加专用的旋转方向传感器的情况下求取旋转方向来进行旋转方向的修正的真空泵。解决方案是，至少可变为使转子轴21进行相对高速的自转的第一状态、以及使转子轴21一边在与保护轴承36之间的间隙H的范围内偏倚公转一边进行相对低速的自转的第二状态，取得径向方向位移传感器的输出信息，在第二状态下求取基于输出信息的转子轴21的旋转方向，判定旋转方向是否正常，在旋转方向不正常的情况下，停止旋转，使旋转速度向正常的旋转方向上升。
基本信息
专利标题 ：
真空泵和真空泵的控制装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111902636A
申请号 ：
CN201980024000.6
公开（公告）日 ：
2020-11-06
申请日 ：
2019-03-20
授权号 ：
CN111902636B
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
深美英夫大立好伸前岛靖高阿田勉
申请人 ：
埃地沃兹日本有限公司
申请人地址 ：
日本千叶县
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
刘茜璐
优先权 ：
CN201980024000.6
主分类号 ：
F04D19/04
IPC分类号 ：
F04D19/04
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04D
非变容式泵
F04D
非变容式泵
F04D19/00
专门适用于弹性流体的轴流泵
F04D19/02
多级泵
F04D19/04
专门适用于产生高真空，例如分子泵
法律状态
2022-05-13 ：
授权
2021-03-30 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : F04D 19/04
申请日 : 20190320
申请日 : 20190320
2020-11-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
