真空泵
公开
摘要

提供一种能够抑制具备螺纹槽的真空泵的比螺纹槽靠下游侧的流路中的副生成物的析出及堆积的真空泵。一种真空泵(1),具有:壳体(11),具有吸气口(12)或排气口(21);转子(30),具备多个转子叶片(32)及转子圆筒部(33);驱动部(80);轴承;定子叶片(43);螺纹槽定子(50),配置在比定子叶片(43)靠下游侧,具有与转子圆筒部(33)的外周面面对的内周面;以及绝热壁(90),配置在比螺纹槽(51)靠下游侧。绝热壁(90)具有环状的环状部(92)、以及从环状部(92)的径向的内侧部向上游侧延伸并在外周面侧形成流路的大致圆筒形状的壁部(93);在环状部(92)的上游侧的面与壁部(93)的外周面之间形成有第1角部(97);第1角部(97)被形成为圆弧状。

基本信息
专利标题 :
真空泵
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114555951A
申请号 :
CN202080073691.1
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2020-10-27
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
高井庆行三轮田透
申请人 :
埃地沃兹日本有限公司
申请人地址 :
日本千叶县
代理机构 :
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 :
朱美红
优先权 :
CN202080073691.1
主分类号 :
F04D19/04
IPC分类号 :
F04D19/04  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F04
液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵
F04D
非变容式泵
F04D
非变容式泵
F04D19/00
专门适用于弹性流体的轴流泵
F04D19/02
多级泵
F04D19/04
专门适用于产生高真空,例如分子泵
法律状态
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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