真空泵、真空泵的旋转体和静翼及其制造方法
实质审查的生效
摘要

本发明提供一种真空泵、真空泵的旋转体和静翼及其制造方法,其适合避免如控制旋转体的驱动的电装部件那样的无需高温化的部分的高温化,高效地使例如螺纹槽泵定子那样在真空泵中需要高温化的部分高温化,从而减少反应生成物的堆积。旋转体(4)具备构成螺纹槽泵机构部的第1圆筒体(4A)与构成涡轮分子泵机构部的第2圆筒体(4B),构成为在第2圆筒体(4B)的外周面上以多级配置有多个动翼(6),由第1圆筒体(4A)的内表面(S1)与第2圆筒体(4B)的内表面(S2)构成的圆筒内表面的至少一部分以及第1圆筒体(4A)的外表面(Q1)构成为放射率比动翼(6)的外表面小的低放射率部。

基本信息
专利标题 :
真空泵、真空泵的旋转体和静翼及其制造方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114370410A
申请号 :
CN202210043587.9
公开(公告)日 :
2022-04-19
申请日 :
2017-11-10
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
大立好伸前岛靖高阿田勉
申请人 :
埃地沃兹日本有限公司
申请人地址 :
日本千叶县
代理机构 :
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 :
李婷
优先权 :
CN202210043587.9
主分类号 :
F04D19/04
IPC分类号 :
F04D19/04  F04D29/32  F04D29/52  F04D29/02  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F04
液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵
F04D
非变容式泵
F04D
非变容式泵
F04D19/00
专门适用于弹性流体的轴流泵
F04D19/02
多级泵
F04D19/04
专门适用于产生高真空,例如分子泵
法律状态
2022-05-06 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : F04D 19/04
申请日 : 20171110
2022-04-19 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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