本发明公开了火花隙形成方法和ESD保护器件，用适当的激光微加工技术在金属迹线中切割高性能火花隙来抑止混合器电路上的ESD作用。迹线可以载于传统印刷线路板或陶瓷衬底上。通过用气体流冲刷切口来减小间隙尺寸，所述冲刷去除汽化的铜并防止其再次沉积在切口表面上而使切口表面形成桥接。这种间隙可以窄至0.0004英寸并可以有轮廓界限很好的特征，包括有助于降低击穿电压的尖锐拐角。此外，还可以去除迹线下方和两旁的介质材料，否则这些介质材料可能将金属间隙连通，去除所述介质材料降低了击穿电压并减小了跨越间隙的电容。可以获得低至300V的击穿电压。这种火花隙用于有源示波器探针的探针尖端以保护其中的精巧电路。