泵腔室结构、真空腔室及真空镀膜机
授权
摘要
本申请涉及一种泵腔室结构、真空腔室及真空镀膜机；所述泵腔室结构，应用于真空镀膜机，包括：分设在真空腔室的工作腔室外侧的多个泵腔室；其中，各个所述泵腔室分别内置有真空泵；所述真空泵用于同步对工作腔室进行抽真空；所述泵腔室包括分设在工作腔室两侧的第一泵腔室和第二泵腔室；其中，所述第一泵腔室和第二泵腔室对称设计；该技术方案，基于多个泵腔室连接的真空泵同时抽气，提升了抽气口的面积，有效的增加了工作腔室内粒子到达泵室的机率，从而提升高真空状态的抽气速率。
基本信息
专利标题 ：
泵腔室结构、真空腔室及真空镀膜机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202220096229.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2022-01-14
授权号 ：
CN216714821U
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
蒋毅刘伟基冀鸣易洪波赵刚李宏盛
申请人 ：
佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司
申请人地址 ：
广东省佛山市南海区狮山镇信息大道南33号力合科技产业中心加速器项目69栋第三层301单元(住所申报)
代理机构 ：
广州市律帆知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
余永文
优先权 ：
CN202220096229.X
主分类号 ：
F04D29/52
IPC分类号 ：
F04D29/52 F04D19/04 F04D25/16 C23C14/56
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04D
非变容式泵
F04D
非变容式泵
F04D29/00
零件、部件或附件
F04D29/40
壳体；工作流体用接头
F04D29/52
用于轴流泵
法律状态
2022-06-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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