真空镀膜设备的密封结构和真空镀膜设备

授权

摘要

本实用新型公开了真空镀膜设备的密封结构，包括第一真空室、第二真空室和密封组件，第一真空室的第一面板开设有第一通孔，第二真空室位于第一真空室一侧并与其可拆卸连接，第二真空室包括与第一面板相抵接的第二面板，第二面板开设有第二通孔；密封组件包括安装板、第一密封圈和第二密封圈，安装板开设有第三通孔，第三通孔的周缘设有环形凸台，环形凸台嵌设于第一通孔内，第一面板和第二面板均与安装板可拆卸连接，第一密封圈位于环形凸台与第二面板之间，第二密封圈位于安装板与第一面板之间。结构简单、方便拆装，可以解决更换密封连接相邻真空腔体密封圈花费大量时间、人力和物力的问题，不需要移开任何真空腔体即可进行维护。

基本信息

专利标题：

真空镀膜设备的密封结构和真空镀膜设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022454964.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-10-29

授权号：

CN213624365U

授权日：

2021-07-06

发明人：

王志海邝斌陈金良齐鹏飞赖新暖

申请人：

中山瑞科新能源有限公司

申请人地址：

广东省中山市火炬开发区火炬路13号

代理机构：

广州嘉权专利商标事务所有限公司

代理人：

朱芳艳

优先权：

CN202022454964.7

主分类号：

C23C14/56

IPC分类号：

C23C14/56