真空腔室炉盖升降结构

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摘要

本实用新型公开了一种真空腔室炉盖升降结构，包括：直线导轨副，安装在炉体的一侧，提供竖直向上的导引；升降主轴，安装在直线导轨副的活动构件上，该升降主轴的上端为轴径；动力总成，输出连接所述升降主轴，提供升降动力；轴承座，轴承座配合所述轴径形成轴承室，在轴承室内安装有轴承；炉盖，安装在轴承座的一侧；配重，安装在轴承座上与炉盖相对的一侧；以及把手，安装在配重上。依据本实用新型的真空腔室炉盖升降结构有利于提高炉体封闭可靠性，且操作环境相对较好。

基本信息

专利标题：

真空腔室炉盖升降结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921487859.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-09

授权号：

CN210486507U

授权日：

2020-05-08

发明人：

宋德鹏于涛

申请人：

济南力冠电子科技有限公司

申请人地址：

山东省济南市天桥区桑梓店镇舜兴路66号济南新材料产业科技园1号楼1层西区

代理机构：

山东众成清泰律师事务所

代理人：

丁修亭

优先权：

CN201921487859.4

主分类号：

F27D1/18

IPC分类号：

F27D1/18