用于冷却真空泵的系统

授权

摘要

本实用新型涉及一种用于冷却真空泵的系统，包含：安置在壳体内并且具有真空口的真空室；在所述壳体内并且具有流体性联接到所述真空口的进气口的真空泵；和包含以下的流体回路：与所述真空泵的壳体热接触的一个或多个流体管道、通道或导管；通过流体联接到所述一个或多个流体管道、通道或导管的入口的液体泵；和具有热交换器入口和热交换器出口的热交换器，其中所述热交换器入口通过流体联接到所述一个或多个流体管道、通道或导管的出口，并且所述热交换器出口通过流体联接到所述液体泵。所述流体回路还可包括与所述真空室热接触的部分。

基本信息

专利标题：

用于冷却真空泵的系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021389123.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-15

授权号：

CN212848305U

授权日：

2021-03-30

发明人：

J·A·卡瑞拉D·J·克雷夫特

申请人：

萨默费尼根有限公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

江漪

优先权：

CN202021389123.6

主分类号：

H01J49/24

IPC分类号：

H01J49/24 H01J49/26 H01J37/18 H01J37/26