制备YBCO薄膜的超声雾化镀膜方法及其装置
专利权的终止
摘要
本发明属于超导材料领域。现有方法制备YBCO薄膜临界电流密度等性能不高，不能彻底去除CuO杂质相等问题。本发明装置包括超声源、雾化室、沉积室和加热系统，雾化室(5)倒扣在超声源(14)的水槽(6)之上，通过超声震动硝酸盐溶液(13)被雾化，沉积室下部接喷嘴(10)，上部为尾气出口(7)，其内上部设样品托(1)，下部为沉积区，外部设感应加热线圈(8)，特征在于：在沉积室(9)内，样品托的正下方放置金属感应筒(3)，其直径大于或等于样品托的直径，金属感应筒上部接近样品托，下部放置在沉积室底部的支撑托(4)上。本发明解决了基底的温度波动过大问题，提高了效率及薄膜的临界电流密度，增加Y、Ba盐利用率，解决了CuO杂质问题。
基本信息
专利标题 ：
制备YBCO薄膜的超声雾化镀膜方法及其装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1766163A
申请号 ：
CN200510125634.0
公开（公告）日 ：
2006-05-03
申请日 ：
2005-12-02
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
索红莉刘敏赵跃周美玲
申请人 ：
北京工业大学
申请人地址 ：
100022北京市朝阳区平乐园100号
代理机构 ：
北京思海天达知识产权代理有限公司
代理人 ：
张慧
优先权 ：
CN200510125634.0
主分类号 ：
C23C18/08
IPC分类号 ：
C23C18/08 B05B17/06
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18/00
通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆；接触镀
C23C18/02
热分解法
C23C18/08
以金属材料之沉积为特征的
法律状态
2018-01-23 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : C23C 18/08
申请日 : 20051202
授权公告日 : 20081210
终止日期 : 20161202
申请日 : 20051202
授权公告日 : 20081210
终止日期 : 20161202
2008-12-10 ：
授权
2006-06-28 ：
实质审查的生效
2006-05-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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