本方案涉及一种太阳能薄膜电池的镀膜装置。所述装置包括：基板夹持装置、真空发生装置、镀膜反应槽、废液排放装置；基板夹持装置设置在镀膜反应槽上方，用于夹放电池基板；真空发生装置与基板夹持装置连接，真空发生装置包含有真空吸盘，真空吸盘吸附在电池基板上；镀膜反应槽中容纳有镀膜化学试剂；基板夹持装置与真空发生装置相互配合将电池基板远离真空吸盘的一面与镀膜化学试剂反应；废液排放装置设置在镀膜反应槽底部，将镀膜反应槽中反应后的化学试剂排出。由于真空吸盘吸附在电池基板上，镀膜时可以保护电池基板非沉积面不与化学试剂接触，对非沉积面起到了保护；且减少了非沉积面的清洗步骤，提高了生产效率，降低了成本。