一种太阳能电池PECVD镀膜装置
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摘要
本实用新型公开了一种太阳能电池PECVD镀膜装置，包括硅片台，所述硅片台包括放置台，所述放置台包括放置台体，所述放置台体上设置有多个硅片槽，所述硅片槽中间连接有多个放置台卡块，所述放置台卡块中间设置有圆孔，所述硅片槽一侧设置有硅片置入口，所述硅片台还包括镀膜台，所述放置台贴合镀膜台，所述镀膜台包括镀膜台体，所述镀膜台体侧面设置有挡板，所述镀膜台体内侧设置有镀膜台卡块，所述镀膜台卡块上连接有支撑钉，所述支撑钉顶部安装有滚子，所述放置台和放置台一侧连接有固定块，所述固定块通过固定柱和固定螺母将硅片台固定于支撑柱上，所述支撑柱一侧安装有双向电机，本实用新型，具有采用水平置入硅片的方式，可以同时镀膜两面和减小卡点印的特点。
基本信息
专利标题 ：
一种太阳能电池PECVD镀膜装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021524052.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-29
授权号 ：
CN212894965U
授权日 ：
2021-04-06
发明人 ：
黄镇
申请人 ：
中建材浚鑫科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号
代理机构 ：
北京华际知识产权代理有限公司
代理人 ：
范登峰
优先权 ：
CN202021524052.6
主分类号 ：
C23C16/458
IPC分类号 ：
C23C16/458 H01L31/18
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/458
在反应室中支承基体的方法
法律状态
2021-04-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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