异质结太阳能电池在线连续镀膜设备
授权
摘要
本实用新型公开了异质结太阳能电池在线连续镀膜设备，包括：至少一个包括前腔、反应腔、后腔的镀膜工艺室，依次穿过前腔、反应腔、后腔的放置太阳能电池的载板，载板穿过反应腔时速度范围为1‑500mm/s，并在反应腔内设置用于通过等离子体化学气相沉积方式在太阳能电池的基底表面形成非晶硅薄膜的电容耦合式平板结构，并使平板结构连接频率为1MHz‑150MHz的RF/VHF射频电源，使得反应腔可对基底进行连续的镀膜生产，避免了抽真空、破真空造成的时间浪费，生产效率高，连续生产时，多个载板连续地穿过反应腔进行镀膜作业，上述平板结构连接的RF/VHF射频电源保持开启状态，避免了频繁开启射频源影响异质结太阳能电池基底的镀膜质量，成膜质量好。
基本信息
专利标题 ：
异质结太阳能电池在线连续镀膜设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921581619.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-23
授权号 ：
CN210683938U
授权日 ：
2020-06-05
发明人 ：
陈晨周剑张永胜李王俊孙健其他发明人请求不公开姓名
申请人 ：
苏州迈正科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江经济技术开发区龙桥路、芦荡路交叉口西北侧
代理机构 ：
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 ：
孙仿卫
优先权 ：
CN201921581619.0
主分类号 ：
C23C16/54
IPC分类号 ：
C23C16/54 C23C16/50 C23C16/24 C23C16/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/54
连续镀覆的专用设备
法律状态
2020-06-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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