异质结太阳能电池镀膜载板及PECVD设备

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

摘要

本实用新型公开了一种异质结太阳能电池镀膜载板及PECVD设备，所涉及的异质结太阳能电池镀膜载板包括本体，所述本体上设置有至少一个凹槽，所述凹槽在所述本体厚度方向上依次形成有至少两个卡口，在垂直于所述本体厚度方向的平面上，靠近所述凹槽底部的卡口投影范围位于远离所述凹槽底部的卡口投影范围内；基于本实用新型所提供异质结太阳能电池镀膜载板的结构，在具体应用于异质结太阳能电池的硅片镀膜时，一块镀膜载板可以兼容多种不同尺寸的硅片，可有效避免现有技术中因改变硅片尺寸而所带来镀膜载板成本增加的问题。

基本信息

专利标题：

异质结太阳能电池镀膜载板及PECVD设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020940545.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-05-28

授权号：

CN211980591U

授权日：

2020-11-20

发明人：

吴华德蒋方丹吴坚

申请人：

嘉兴阿特斯光伏技术有限公司

申请人地址：

浙江省嘉兴市秀洲区高照街道康和路1288号嘉兴光伏科创园1号楼1505-8室

代理机构：

苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

张炜平

优先权：

CN202020940545.1

主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

H01L21/687 H01L31/18

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01L

半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件

H01L21/00

专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备

H01L21/67

专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置

H01L21/683

用于支承或夹紧的

H01L21/687

使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子

法律状态

2021-12-03 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

IPC(主分类) : H01L 21/687
变更事项 : 专利权人
变更前 : 嘉兴阿特斯光伏技术有限公司
变更后 : 嘉兴阿特斯技术研究院有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 314000 浙江省嘉兴市秀洲区高照街道康和路1288号嘉兴光伏科创园1号楼1505-8室
变更后 : 314000 浙江省嘉兴市秀洲区高照街道康和路325号1号楼、2号楼

2020-11-20 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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