本发明涉及半导体刻蚀控制技术。本发明提出一种等离子体内电子温度测量装置，其中包括光谱仪和通用计算机，其中光谱仪获得等离子体的光谱信息并输出到通用计算机；通用计算机接收等离子体的光谱信息，计算等离子体内电子的温度。采用本发明可以实时获得等离子体内电子温度、进行等离子体状态的监控。这种方法节约时间，提高生产效率，而且可以及时的诊断故障的发生。而且采用本发明的装置对等离子体没有干扰，对工艺的效果没有干扰，提高了测量的准确度。