空气供应系统

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

一种空气供应系统，适用于具有一重要制程机台的一无尘室之中，其包括有一外气空调单元、一进气导管、一二次空调箱或外气空调箱、一第一空气输送管、一第二空气输送管以及一排气导管。该进气导管系连接于该无尘室外部与该外气空调单元。该第一空气输送管连接于该外气空调单元与该二次空调箱之间，用于将流经该外气空调单元的空气输送至该二次空调箱之中。该第二空气输送管连接于该二次空调箱与该重要制程机台之间，用以将流经该二次空调箱的空气输送至该重要制程机台之中。采用本发明可大幅提高其第一化学过滤器的使用寿命，并通过压力调节装置的运转，本发明的空气供应系统的操作可以更为稳定及方便。

基本信息

专利标题：

空气供应系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1831440A

申请号：

CN200510126634.2

公开（公告）日：

2006-09-13

申请日：

2005-12-02

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

郭博菘陈勇达周政隆吴东立黄铭文

申请人：

台湾积体电路制造股份有限公司

申请人地址：

中国台湾新竹科学工业园区新竹市力行六路八号

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所

代理人：

刘新宇

优先权：

CN200510126634.2

主分类号：

F24F3/16

IPC分类号：

F24F3/16