静电吸引驱动装置
专利权的终止
摘要
本发明提供一种能够选择进行粗进给驱动和微进给驱动、并且能够抑制速度变动的幅度来提高移动速度的平滑性的静电吸引驱动装置。如果以从ST1到ST7的顺序将驱动信号分别赋予由(A)相至(H)相电极构成的8相电极(23)，则具有电极(33a、33b)的可动子侧从PO1状态开始朝向PO1’状态逐渐沿Y1方向移动。此时，可动子的平均速度v1(ave)为图8B的∑V1所示的实线，所以能够将速度变动的幅度抑制得较低，能够提高移动速度的平滑性(匀速性)。此外，如果以预定的组合将驱动信号赋予由A相至D相电极构成的4相电极(23)，则每1步骤的移动距离延长，能够进行粗进给驱动。
基本信息
专利标题 ：
静电吸引驱动装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1783689A
申请号 ：
CN200510127237.7
公开（公告）日 ：
2006-06-07
申请日 ：
2005-11-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
古庄英高
申请人 ：
阿尔卑斯电气株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
黄剑锋
优先权 ：
CN200510127237.7
主分类号 ：
H02N1/00
IPC分类号 ：
H02N1/00
法律状态
2013-01-23 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101384117509
IPC(主分类) : H02N 1/00
专利号 : ZL2005101272377
申请日 : 20051124
授权公告日 : 20091111
终止日期 : 20111124
号牌文件序号 : 101384117509
IPC(主分类) : H02N 1/00
专利号 : ZL2005101272377
申请日 : 20051124
授权公告日 : 20091111
终止日期 : 20111124
2009-11-11 ：
授权
2006-08-02 ：
实质审查的生效
2006-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
