本发明提供一种准分子灯装置，去掉划分灯罩与被照射区域的光输出窗而简化装置结构，可实现低成本化，而且避免配置于灯端部近旁的供电部件暴露在活性氧气中来防止氧化，并可减少该部件的劣化和破损的发生。一种准分子灯装置，具备通过电介质的放电来放射紫外光的准分子灯，及收容该准分子灯的灯罩；在灯罩上形成有取出来自上述灯的放射光的开口，通过该开口，灯罩内部空间与处理被处理物的处理室内部空间相连通；其特征在于，在上述准分子灯的至少一方的端部连接有供电部件而形成供电结合部；在灯罩内部，设有分隔形成有供电结合部的灯端部区域和灯罩内部空间的分隔部件。