受激准分子灯点灯装置及受激准分子灯点灯方法

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摘要

本发明提供一种受激准分子灯点灯装置，将供给到受激准分子灯的高频电力的频率作为1MHz至1GHz而降低对受激准分子灯的施加电压时，即使全长较长的受激准分子灯的点灯时，也可缩短放电等离子体均匀地分布于放电空间整体为止的时间，而即使有重复点灯熄灯的状况，也可进行均匀的受激准分子光的照射处理。本发明的受激准分子灯点灯装置包括：受激准分子灯(7)、点灯电路部(20)、及控制部(10)，其中，控制部控制点灯电路部，使得在受激准分子灯的起动期间中将比供给到受激准分子灯的稳定点灯时的稳定电力高的电力供给到受激准分子灯，当受激准分子灯转移至稳定点灯状态后，将稳定电力供给到受激准分子灯。

基本信息

专利标题：

受激准分子灯点灯装置及受激准分子灯点灯方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1763905A

申请号：

CN200510118108.1

公开（公告）日：

2006-04-26

申请日：

2005-10-20

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

铃木贵之住友卓松本茂义

申请人：

优志旺电机株式会社

申请人地址：

日本东京都

代理机构：

永新专利商标代理有限公司

代理人：

黄剑锋

优先权：

CN200510118108.1

主分类号：

H01J65/00

IPC分类号：

H01J65/00