制造减少条纹的化学机械抛光垫的设备
专利权的无效宣告
摘要
本发明提供一种制造化学机械抛光垫的设备，该设备包括：装有聚合物材料的容器、装有微球体的储料斗和装有固化剂的固化剂储存容器。该设备还提供用来形成聚合物材料和微球体的预混合物的预混合物制备容器，以及处于所述预混合物制备容器内的循环回路，用来对所述预混合物进行循环，直至达到所需堆积密度。该设备还提供用来储存预混合物的预混合物收集器、用来形成预混合物与固化剂的混合物的混合器和用来模制混合物的模子。
基本信息
专利标题 ：
制造减少条纹的化学机械抛光垫的设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1781668A
申请号 ：
CN200510128683.X
公开（公告）日 ：
2006-06-07
申请日 ：
2005-11-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
A·H·赛金
申请人 ：
罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
申请人地址 ：
美国特拉华州
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
沙永生
优先权 ：
CN200510128683.X
主分类号 ：
B24D18/00
IPC分类号 ：
B24D18/00 B24D3/20 B24B29/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24D
磨削、抛光或刃磨用的工具
B24D18/00
其他类目不包括的磨具制造，如磨轮
法律状态
2021-02-09 ：
专利权的无效宣告
专利权全部无效IPC(主分类) : B24B 37/04
授权公告日 : 20100526
无效宣告决定日 : 20200604
无效宣告决定号 : 44685
授权公告日 : 20100526
无效宣告决定日 : 20200604
无效宣告决定号 : 44685
2010-05-26 ：
授权
2006-08-02 ：
实质审查的生效
2006-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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